洁净室气流之流动
洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产

生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。

洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因

此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚有机器等

之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将

发生的尘埃迅速排出室外。

洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选

0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混

乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运

转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以zui适当的风速供应，以

达到适当的风速供应以达到经济性效果。
 

另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一

气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，

此时要实现高洁净度事实上很困难。
 

垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)

地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)

均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速

均取在0.25~0.5m/s之间。

影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同

时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
 

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3

之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带

走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流

至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污

染，良率也势必降低。
 

洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁

净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少zui低；组装材料之选择

是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素